精密紅外線測試系統關鍵組件解析
原理、應用與解決方案
黑體:紅外線測試的精確輻射標準
在精密紅外線 (Infrared, IR) 測試與校準的領域中,黑體扮演著不可或缺的核心角色。它並非字面意義上的黑色物體,而是一種理想化的物理模型,能夠吸收所有入射的電磁輻射,並且其自身發出的熱輻射光譜與強度完全由其溫度決定,這使其成為一個極其精確且可預測的標準輻射源。透過使用高品質的黑體校準源 (Blackbody Calibration Sources),工程師與科學家能夠產生具有精確已知溫度與紅外輻射通量的參考標準,這對於紅外線感測器、熱像儀及其他紅外線系統的開發、特性分析、校準及驗證工作至關重要。
腔式黑體:追求極致發射率與高溫性能
當測試應用中對溫度上限和紅外線輻射通量 (high IR flux) 有著嚴苛要求時,腔式黑體便成為首選的技術方案,此類黑體的設計精髓在於其「腔體」結構,光線在進入腔體後會經過多次內部反射,每一次反射都會增加被吸收的機會,從而使得腔體開口處的有效發射率極其趨近於理想值1,即便構成腔體壁的材料本身發射率並非完美,也能實現非常高的整體發射效率與溫度均勻性,尤其在高溫工作狀態下更具優勢。
這些高性能的黑體經常被整合到複雜的測試系統中,例如:用於直接測試未封裝的感測器晶片 (bare detectors)——即那些尚未安裝光學鏡頭或完整外殼的原始紅外線偵測元件,以評估其最基礎的光電響應特性;此外,當需要對紅外線能量進行特定波段的濾波處理以模擬特定紅外線場景,或進行光譜響應測試時,腔式黑體的高輻射通量也為後續的光學衰減或選擇提供了充足的能量餘裕。為了實現對輻射訊號的精密調控與量測,腔式黑體經常與斬波器/調變器 (chopper/modulator)(用於將連續輻射轉換為週期性脈衝訊號,以便於鎖相放大等微弱訊號偵測技術的應用)以及一系列不同直徑的精密光闌 (apertures)(用於精確控制輻射源的有效面積與視場角,其直徑範圍通常可從 0.010 到 0.75 英寸 (inches))搭配使用;業界標準的腔式黑體一般具有約 1 英寸直徑的輻射開口,其可操作的溫度範圍相當寬廣,通常能從 50°C 的較低溫穩定延伸至 1000°C 甚至更高的高溫。

SBIR 4100 高溫腔體黑體,操作達 1000°C,具 0.98 發射率、優異均勻性與穩定性;快速升降溫縮短測試時間。高精度 PID 控制,支援 GPIB/RS-232。適用嚴苛紅外校準測試。
其他高溫黑體:滿足大面積均勻輻射需求
除了腔式設計外,SBIR (Santa Barbara Infrared) 亦針對特定應用需求,提供高溫平板型黑體 (flat-plate type blackbodies),這類黑體的特點在於其較大面積的均勻發射面,當測試應用不僅需要高輻射通量,還需要一個具有一定空間延展性的擴展目標 (extended target) 或模擬更廣闊的紅外線場景時,例如:對整個成像系統的視場均勻性進行校準,或者測試需要大面積均勻紅外光源照明的材料特性時,平板型黑體便顯得尤為適用;相較於腔式黑體的小開口,平板黑體能夠提供一個面光源,其溫度範圍通常可達到 50°C 至 650°C,並且能提供最大至 2.75 英寸見方或更大尺寸的均勻發射面積。

Infinity 延伸區域低溫黑體專為紅外線感測器研發與測試設計的 SBIR EXLT 系列低溫黑體,具備 -40°C 極限低溫、mK 級穩定度與高均勻性;適用於需要精確控制低溫背景的應用。
差分式黑體:精準呈現微小溫差的藝術
差分式黑體是一種特殊設計的黑體輻射源,其核心功能是在兩個緊鄰的表面之間,產生一個極其穩定且精確可控的微小溫差,這兩個表面通常包括:一個是作為參考背景、其溫度隨環境自然波動的環境溫度表面 (T1),另一個則是透過精密溫控系統主動控制其溫度的黑體自身的發射表面 (T2);此類黑體主要應用於測試那些對場景中極細微溫度差異具有高敏感度的精密熱像儀或先進紅外線感測系統,例如:在評估熱像儀的最小可解析溫差 (MRTD) 或雜訊等效溫差 (NETD) 等關鍵性能指標時。
見下圖,表面 T1 的實際溫度,是透過一個與該參考目標表面有良好熱傳導接觸的高精度環境溫度探測器來即時量測的,黑體的控制器則根據使用者的指令,精確地維持 T2 表面相對於 T1 表面的溫差 (ΔT=T2−T1);在絕大多數的測試配置中,T1 的溫度會非常接近甚至等同於承載目標圖案的目標板本體的溫度,此溫度也常被稱為背景溫度,因為對於待測物 (UUT)(例如一部紅外線攝影機)而言,它所觀測到的是一個均勻的背景溫度區域,而目標的細節特徵則是在此背景上由 T2 的溫度所突顯出來;相對地,T2 則是受控黑體表面的溫度,待測物會透過前景目標板上精心設計的開口或圖案特徵來觀測到這個 T2 溫度的區域,從而感知到由 ΔT 所形成的熱影像對比度。

圖1:差分式黑體中目標的示意圖,顯示中央的目標特徵區域(T2,黑體控制溫度)與周圍的目標本體/背景區域(T1,環境參考溫度)。
目標:定義紅外線測試的「視力表」
與差分式黑體(或其他類型黑體)搭配使用的目標 (Targets),是紅外線測試中用於呈現特定空間圖案的關鍵組件,其作用類似於我們檢查視力時所用的「視力表」,這些目標通常是選用具有優良熱傳導性的實心銅製圓盤(以確保目標表面溫度的均勻性與快速響應),再透過精密的機械加工(如銑削、鑽孔)在其上製作出各種幾何形狀的槽孔或孔洞,從而形成所需的目標特徵 (target features)。如果目標特徵要求非常細小且邊緣銳利(例如用於極高空間解析度測試的圖案),則目標板可能會採用更薄的金屬片(常用的材料如磷青銅,因其良好的彈性與加工性)製造,並利用高精度的化學蝕刻 (chemically etched) 工藝來形成這些微細圖案。
無論採用何種基材與加工方式,目標的表面最終都會被塗覆一層特殊的高發射率黑色塗層,這種塗層至關重要,因為它能確保目標特徵區域自身也具有接近理想黑體的輻射效率,最大限度地減少來自目標表面的環境輻射反射,從而使得由黑體溫差(T2 與 T1)所形成的紅外線圖案對比度更為純粹和清晰。
雖然可以設計出無數種滿足特定測試需求的目標圖案,但在業界標準化的紅外線系統性能測試中,有兩種基礎且廣泛應用的目標類型:
- 窗口或光闌目標:
這類目標通常具有一個或多個形狀規則(如方形、圓形)的開口,它們主要用於那些需要從待測物輸出的視訊訊號中精確擷取特定影像線條 (line of video) 數據的測試,例如在量測成像系統的響應均勻性、動態範圍或進行輻射定標時,會分別量測並比較來自 T1(背景,即目標板本身)和 T2(透過開口看到的黑體)區域的訊號準位。 - 條狀目標:
這類目標通常由一系列等間距、不同寬度或空間頻率的平行黑白條紋組成(例如著名的 USAF 1951 解析度測試圖),它們是評估紅外線成像系統空間解析度 (resolution) 和對焦 (focus) 品質的核心工具,透過觀察系統能清晰分辨的最細條紋組,可以量化其解析能力。

圖2:從紅外線成像儀輸出擷取單行視訊訊號的示意圖,用於分析目標(呈現為訊號中的高平台部分)與背景(呈現為訊號中的低平台部分)之間的溫差所產生的電壓差。
準直儀:實驗室中的無窮遠紅外線場景產生器
在紅外線測試系統中,準直儀 (Collimator) 扮演著一個不可或缺且極其重要的光學角色,它的核心任務是將一個由黑體作為背光光源照明的目標所形成的紅外線影像,精確地投射到待測試的紅外線成像儀或感測器的入光口;更為關鍵的是,準直儀能夠使得這個投射出去的目標影像看起來像是來自於無窮遠處,這對於在空間有限的實驗室環境中模擬真實世界遠距離觀測條件至關重要,因為絕大多數紅外線成像系統(例如偵察、監控或導引系統)的設計初衷正是用於觀測遠方的目標。
準直儀透過其精密的光學設計(通常包含特殊材料製成的透鏡或反射鏡系統,針對特定紅外波段進行了優化),能夠將來自目標平面上每一點的光線轉換成相互平行的光束,這代表著,無論待測物與準直儀出瞳之間的實際物理距離在一定範圍內如何變化,由待測物所觀測到的目標特徵的視在角尺寸 (apparent angular size) 都會保持恆定,這與觀測無窮遠處物體的體驗是相同的。由準直儀最終產生的影像是位於待測物前方無窮遠處的一個正立虛像 (erect virtual image)(即影像方向與目標相同,且無法在屏幕上實際成像,必須透過光學系統如待測物本身的鏡頭來觀察或聚焦),這種能力使得工程師可以在緊湊的實驗室空間內,對紅外線系統的遠距離成像性能、角解析度、視場特性等進行準確的量測與校準;奧創系統提供的紅外線準直儀 (Infrared Collimators) 便是為滿足此類精密測試需求而設計的。

SBIR STC 系列離軸牛頓式準直器,為可見光至長波紅外線系統測試提供繞射極限效能。輕巧、易整合、可客製化,打造精準目標投影。

此圖展示一套完整的 SBIR 4000 系列準直模式待測物 (UUT) 特性分析系統配置,系統核心包含安裝於黑體支架上的 4000 系列高溫黑體、可切換圖樣的目標輪及輔助照明器,其產生的輻射能量經由大型準直儀轉換為平行光束,用以精確照射並評估 UUT(如紅外線攝影機或感測器)的各項性能指標;4000 系列高溫控制器提供穩定的溫度控制,而 IRWindows PC 則透過介面纜線(類比/數位訊號)實現系統整合控制、閉迴路應用程式操作及最終的資料擷取與分析。此設置是實驗室進行高精度紅外線元件或系統校準與特性化的典型解決方案。
目標輪:精密目標的守護者與高效切換平台
正如先前在討論目標時所強調的,紅外線測試目標的表面通常會塗覆一層非常精密的特製高發射率塗層,這種塗層對於確保測試結果的準確性至關重要,但其物理特性往往也使其極為脆弱;任何不經意的觸碰都可能將灰塵、手指上的皮膚油脂等污染物轉移到塗層表面,甚至可能壓壞其精細的、類似微觀毛氈的表面結構。這些損害都會直接導致塗層的發射率降低,並可能在其表面上產生不均勻的輻射特性,從而嚴重影響測試的準確性和一致性。
為了解決這一難題,並提升測試效率與可靠性,目標輪 (Target Wheel) 應運而生,目標輪的設計巧妙地將多個不同的測試目標容納在一個封閉或半封閉的旋轉機構中,從而徹底避免了因人工頻繁拿取和更換目標而導致的精密塗層受損風險,使用者可以透過手動或(更常見的)電動方式來旋轉目標輪,將選定的測試目標精確地置於光路之中,整個過程無需直接接觸目標表面。

SBIR 電動目標輪提供優於 0.001" 的定位重複性、高熱穩定性與零背隙設計;專為搭配黑體與積分球光源,支援 MRT、MDT、MTF、NEDT 自動化測試。是國防、工業與研究應用的理想選擇,並可選配對準照明器。
然而,一個高品質的目標輪 (Target Wheels) 所提供的價值遠不止於對一組測試目標的簡單存放與保護,更為關鍵的是,目標輪必須能夠以極高的定位準確性和重複性來確立每一個目標在光軸上的精確位置,這對於需要進行比對測試或長期追蹤系統性能的應用尤為重要,例如,在進行空間解析度測試或調焦時,目標圖案必須精確地位於準直儀的焦平面上,任何微小的位置偏差都可能導致量測結果的顯著差異;因此,精密的機械設計、穩定的驅動控制以及準確的定位回饋機制,都是構成高性能目標輪不可或缺的要素,它們共同確保了紅外線測試流程的自動化、高效率以及結果的高度一致性。
引領精密測試技術,共創產業新局
本文詳細解析了構成精密紅外線測試系統的數個關鍵組件,從作為標準輻射源的各類型黑體(包括適用於高溫高通量測試的腔式黑體、平板型高溫黑體,以及專門用於產生精細溫差以供熱像儀評估的差分式黑體與其搭配的各類精密目標),到扮演投射與模擬遠距影像角色的準直儀,乃至於保護並精確切換多個目標的目標輪,這些組件的性能與整合方式,直接決定了紅外線系統在研發驗證、品質管制及最終性能表現評估上的準確度與可靠性。準確的紅外線特性量測對於提升從基礎研究到工業應用的各個環節的品質至關重要。
未來產業發展與技術需求
展望未來,隨著研發活動的深化、半導體製程的持續微縮與複雜化、以及工業4.0帶動的產線自動化與智慧製造的普及,對於精密量測與測試技術的需求將日益迫切。在紅外線技術領域,這代表著對更高精度、更寬溫度範圍、更快反應速度以及更佳長期穩定性的黑體、準直儀及目標等組件的需求將持續增長;此外,測試系統的自動化程度、數據分析智能化以及與現有生產測試環境的整合相容性也將成為發展重點,特別是在半導體產業的熱特性分析、缺陷檢測,以及工業環境中的預防性維護、非破壞性檢測等應用,都將高度依賴先進紅外線測試解決方案的輔助;同時,在模擬測試領域,例如工業運動模擬,對多感測器融合測試(包含紅外線感測)的需求也將推動相關測試技術的革新。
奧創系統:您的專業系統整合與解決方案夥伴
面對上述產業發展趨勢與技術挑戰,選擇一個經驗豐富且能提供全方位服務的合作夥伴至關重要,奧創系統 (Ultron Systems) 正是 SBIR (Santa Barbara Infrared) 解決方案在台灣的專業系統整合商與重要合作夥伴;我們理解,尖端技術的有效應用,不僅在於設備本身的性能,更在於如何將其完美融入客戶的具體應用流程中。
奧創系統的核心價值在於作為一個經驗豐富的解決方案與系統整合提供者,我們專注於為客戶提供最優化的系統配置與整合服務,我們的專業團隊能夠深入了解您在研發、半導體測試、工業運動模擬、測試乃至產線自動化等不同領域的具體挑戰與目標,從初期的需求訪談、系統分析,到完整的整體規劃,奧創系統致力於根據您的獨特需求,提供客製化的服務與系統建置。
奧創系統提供的解決方案涵蓋了紅外線測試與校準所需的關鍵設備,例如 SBIR 生產的高穩定性黑體校準源、精密光學紅外線準直儀、自動化目標輪、整合型以及相關的紅外線攝影機和高精度差分溫度計;奧創系統不僅提供這些高品質的組件與系統,更重要的是,我們協助客戶進行有效的系統整合、操作訓練與後續維護,確保您能充分發揮這些先進技術的潛力,提升研發效率、產品質量與市場競爭力,針對白皮書所探討的產業應用,奧創系統亦能提供相關的技術諮詢與解決方案規劃,協助您應對未來的技術挑戰。