搜尋 : IGM

專業12吋晶圓表面粒子檢查機，具備0.3μm高解析度線型雷射掃描，支援拋光、薄膜及蝕刻表面檢測，特色包含60秒快速掃描、KLA參數差異校正、Wafer Map圖面轉換及玻璃折射率切換功能，精準監控製程良率。