AGV-SPO 高效能單樞軸雷射掃描頭
獨特共軸入射光瞳設計，徹底消除視野限制與光點變形
優化大尺寸工件的雷射微加工品質
Aerotech AGV-SPO 單樞軸振鏡掃描器，為傳統雙鏡振鏡掃描器提供了一個全新的選擇，此設計延伸自廣受歡迎的 AGV-HPO 掃描器，AGV-SPO 能夠實現更大的視野 (Field of View) 與更低的光點變形，滿足嚴苛的雷射微加工應用需求。
設計特點
- 相較於傳統 2D 掃描器，更大的視野可簡化較大工件的加工流程。
- 在整個視野範圍內將光點變形降至最低，可減少加工變異，實現最高品質的雷射加工工件。
- 提供氣冷與水冷選配，用以確保熱穩定性並提升長期精度。
- 提供多種鏡面鍍膜選擇，適用於各種雷射波長。
寬廣視野與極低光點變形
此機種獨特的光學設計，能有效控制 X 軸與 Y 軸掃描運動的入射光瞳 (Beam Entrance Pupil) 位置使其重合，進而提高掃描系統的有效數值孔徑 (Numerical Aperture)，這個設計在給定的焦距下可直接擴大視野，並在整個工作區域內顯著降低光點變形，這些技術優勢使 AGV-SPO 能夠以更高的一致性，更快速地加工大尺寸工件。
設計組態
AGV-SPO 提供多種光學鍍膜與聚焦光學元件的選擇，以支援各種常用的雷射波長與焦距，針對其他特殊需求，可依客戶要求提供客製化的光學元件與安裝結構，AGV-SPO 可配置氣冷鏡片、水冷馬達或兩者兼具，這些主動式散熱功能，有助於在雷射或高動態運動曲線產生的熱干擾下，維持工作平面的精度與運作穩定性。
進階程式編輯功能
AGV-SPO 支援 Aerotech 所有專為傳統振鏡與伺服平台雷射加工應用開發的進階運動與位置同步輸出 (Position Synchronized Output, PSO) 功能，例如，可運用輪廓加工功能中的加速度限制，在急轉彎或小半徑處自動降低速度，以最大程度減少過衝，雷射觸發亦可利用鏡片的位置回授，透過 PSO 功能確保掃描器在速度變化時，仍能維持一致的光點重疊率。
Aerotech 的無限視野 (Infinite Field of View, IFOV) 功能，可無縫整合伺服平台與掃描器的運動，將掃描器的標刻範圍擴展至伺服平台的整個行程，徹底消除傳統「移動-曝光-重複」製程中可能出現的拼接誤差。
此比較圖顯示 (a) AGV-HPO 與 (b) AGV-SPO 掃描頭的光點直徑分佈；測試結果表明，AGV-SPO 不僅將有效工作視野擴大 2.3 倍（169 mm vs 106 mm），更將視野內的最大光點直徑縮小 38%（33.0 µm vs 53.4 µm），大幅提升大範圍加工的均勻度與一致性。
技術規格
機構尺寸
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