AGV-HPO 高精度雷射掃描振鏡

AGV-HPO 二軸雷射掃描振鏡，採用低轉動慣量馬達與雙數位編碼器，提供近乎零的追蹤誤差。可選配水冷與氣冷系統，確保高功率雷射製程的熱穩定性；支援位置同步輸出 (PSO) 與無限視野 (IFOV) 功能，適用於玻璃切割、微加工等精密應用。

AGV-HPO 高精度雷射掃描振鏡

雙編碼器閉迴路控制，實現零延遲的運動同步

AGV-HPO 二軸雷射掃描振鏡採用低轉動慣量馬達與搭載雙數位編碼器的鏡片，可實現趨近於零的速度與位置追蹤誤差，其開放式外殼設計確保了低質量與小巧的安裝尺寸，透過選配的馬達與掃描儀外殼閉路水冷系統，可最佳化熱漂移性能，而選配的鏡片強制氣冷功能則能提升雷射功率的承受能力，使 AGV-HPO 在要求最嚴苛的雷射製程中，依然能維持高精度的表現，當透過標準標記與量測程序校準後，AGV-HPO 能在工件實際切割前，提供關於路徑追蹤誤差的寶貴分析資料，高反射率鏡片鍍膜則為連續波 (CW) 與脈衝雷射應用，提供了充足的功率承受能力。

Aerotech AGV-HPO 高精度雷射掃描振鏡實體安裝圖，圖中可見其搭載了選配的閉路水冷系統管線，用以在高功率運作下維持熱穩定性，此掃描振鏡整合於大型雷射加工系統中，透過其雙數位編碼器回授，可為微加工、玻璃切割等應用提供極致的路徑追蹤精度。

主要特點

提供 10 mm、14 mm、20 mm 與 30 mm 的輸入光圈。
標準高效能反射鍍膜範圍涵蓋從 UV (小於 300 nm) 到 CO2 (大於 10,600 nm) 的波長。
數位位置解析度高於 24 位元。
具備熱穩定性的開放式外殼設計，可選配馬達閉路水冷與鏡片氣體冷卻。
雙數位編碼器回授可消除速度誤差，並在整個掃描器的視野 (FOV, Field of View) 範圍內，實現個位數微米等級的精度。

關鍵應用

AGV-HPO 適用於所有對精度與產能皆為品質關鍵的 2D 雷射掃描應用，包括：

玻璃切割
通孔鑽孔
表面紋理化
微加工

選配項目

AGV-HPO 提供 10、14、20 和 30 mm 的輸入光圈，並可選擇光束從右側或左側進入，此掃描振鏡可直接搭載 Aerotech 提供的 F-Theta 或遠心鏡頭，或者，使用者也可直接向外部供應商採購聚焦光學元件，並搭配 Aerotech 提供的墊片環，以確保通過光學元件的背向反射不會損壞掃描振鏡的鏡片，此機種支援適用於 UV、可見光、紅外光與 CO2 等多種波長的鏡片鍍膜，同時也提供針對超快雷射最佳化的鍍膜選項。

強大的控制器實現即時製程可視性

在Aerotech的 Automation1 PC 運動控制器與線性放大器的驅動下，AGV-HPO 能夠以高達 200 kHz 的軌跡速率執行運動，AGV-HPO 鏡片的位置可以被即時擷取與分析，透過直接存取掃描器的位置資料，您將無需再設定延遲參數來補償伺服系統中的延遲與追蹤誤差，這使得製程可以在標記工件前就完成最佳化，從而節省時間並減少材料浪費，您還可以根據到位與速度條件來控制雷射的狀態，進一步降低程式設計的複雜度。

進階程式設計功能

AGV-HPO 運用了所有為Aerotech傳統伺服驅動雷射加工應用所開發的進階運動與位置同步輸出 (PSO, Position Synchronized Output) 功能，輪廓加工功能，例如：加速度限制，會在急轉彎或小半徑處自動降低速度，以將過衝現象降至最低，藉由 PSO，雷射可以根據鏡片的位置回授進行觸發，確保在掃描器速度變化時，能維持一致的光點重疊率，無限視野 (IFOV) 功能則能無縫結合伺服與掃描振鏡運動，將掃描振鏡的標記能力擴展至整個伺服平台的行程範圍，徹底消除在傳統「移動-曝光-重複」製程中可能出現的拼接誤差。