高達太赫茲 (THz) 頻段的三埠晶圓級混頻器量測
以 R&S®ZNA 向量網路分析儀與 MPI 探針台進行精密整合
混頻器是通訊與雷達系統中進行頻率轉換的關鍵元件，在毫米波 (mmWave) 甚至太赫茲頻段中，晶圓級混頻器的準確特性化對元件建模與驗證至關重要，高頻混頻器的量測需涵蓋 RF、LO 與 IF 埠位，並能在單一平台上完成轉換損耗、壓縮、隔離與阻抗匹配等測試；由於測試頻率超出分析儀本身頻寬，必須搭配多組外部頻率延伸模組，同時在晶圓上不同位置進行探測。
三埠晶圓級混頻器量測
透過 R&S®ZNA 四埠向量網路分析儀結合外部頻率延伸模組，可在THz 頻段完成高精度三埠混頻器量測，此架構具備：
- 四個相位同步內部訊號源與八個高動態範圍接收器，確保量測準確性；
- 可同時支援不同波導頻段的 RF 與 LO 頻率；
- 在單一量測環境中完成主要混頻參數分析。
Rohde & Schwarz 提供完整的毫米波至太赫茲頻率延伸模組系列，最高可達 1.1 THz。
三埠頻率延伸整合
MPI Corporation 首創可同時安裝三組頻率延伸模組的探針台配置，分別位於東、西與北三個方位，此設計支援真三埠毫米波與亞太赫茲量測，適用於各類寬頻混頻器與頻率轉換元件。
技術重點
- 支援 D 波段 (110–170 GHz) 與 G 波段 (140–220 GHz) 延伸模組；
- 每個延伸模組均以波導探針直接連接，最小化 RF 路徑；
- 提升 功率傳輸、相位穩定度與方向性，降低插入損耗與量測不確定度；
- 機械結構保持剛性固定，保留顯微鏡觀察與探針靈活性；
- 適用於 MPI TS150-THZ 及多款手動／自動化探針台，確保穩定重現的多埠接觸。
機械整合與探測校正與軟體支援
系統使用 MPI 校正基板或晶圓上自訂標準進行校正，由 QAlibria® 軟體統一管理與引導，該流程簡化校正步驟，確保高頻段校正準確性與可重現性。
QAlibria® 晶圓級射頻校準軟體
結論
R&S®ZNA 向量網路分析儀與 MPI 探針台的結合，使工程師能在晶圓層級實現高達太赫茲頻段的三埠混頻器量測，此整合方案兼具高精度、彈性與機械穩定性，可執行混頻器的轉換損耗、隔離與匹配等關鍵特性分析，此平台協助開發人員推進新一代 THz 與高速射頻技術，確保可靠、可重現的量測結果。
MPI Corporation 為全球半導體與光電測試解決方案領導廠商，專注於先進探針系統、探針卡與熱測試技術，廣泛應用於 RF、光電與功率元件產業。
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關鍵規格
- 頻率範圍：
10 MHz – 26.5/43.5/50/67 GHz（ZNA26/43/50/67）
→ 延伸至 110 GHz（ZNA67EXT） - 兩埠或四埠版本
- 高射頻性能與穩定度
- 最多四組整合訊號源
- 直覺式觸控操作與 DUT 中心化介面