高達 110 GHz 的差動晶圓級射頻量測
以 MPI 探針台整合 R&S®ZNA67EXT 向量網路分析儀
在 5G、6G 與毫米波（mmWave）元件的開發、驗證與量產階段，準確的晶圓級電氣量測至關重要，無論是放大器、混頻器或差動傳輸線，其電氣特性均決定後續模組整合品質與產品效能，在量產測試中，系統必須兼顧量測精度與測試效率，以支援高速晶圓取樣與自動化流程。
R&S®ZNA67EXT 向量網路分析儀為應對高達 110 GHz 的差動晶圓量測的最佳選擇，可於單次掃描中完成全頻段量測，此測試配置結合 R&S®ZNA67 主機與外接頻率延伸模組（frequency converters），具備高重現性與高穩定性。
使用探針台和 R&S ZNA 向量網路分析儀進行量測
關鍵設計特點
- 與 MPI 探針台機械整合：頻率延伸模組側向安裝，縮短訊號路徑並減少電纜彎折。
- 高機械穩定度：減少震動與訊號漂移，確保 RF 一致性。
- 支援虛擬與真差動架構：可靈活應用於各類 DUT（被測物）。
- 多相干源架構：內建多個同步射頻源與平行量測接收器，可進行多埠與真差動混合模式 S 參數分析。
RF 探測整合與穩定性設計
該解決方案採用 MPI 高性能探針台，可選手動或自動版本，並支援溫控晶片台與防震設計，核心 RF 介面採用 MPI mmWave Dual TITAN™ Probes（GSGSG 結構），針對高達 120 GHz 的差動量測優化，提供：
- 長探針壽命
- 優異的回波損耗與插入損耗
- 高埠間隔離度
- 最佳化針尖可視度，確保精確接觸
機械整合與探測
MPI 專為此應用設計機械整合夾具（integration fixture），可：
- 固定頻率延伸模組於探針台
- 降低電纜彎折與移動
- 維持一致訊號路徑
- 改善方向性與量測重現性
此外，MPI 探針臂內嵌式光密封結構可防止外界光干擾，同時維持定位精度。
校正與軟體支援
- 校正基板：使用 MPI TCS 雙端校正基板，針對 GSGSG 結構設計，具備同軸終端標準以提升校正精度。
- 頻率支援：確保 110 GHz 以上的優異校正準確度。
- 軟體整合：MPI QAlibria® 與 SENTIO® 軟體支援全自動校正與量測，適用於探針端、晶圓上校正標準與寬溫操作條件。
MPI QAlibria® 晶圓級射頻校準軟體
結論
R&S®ZNA67EXT 搭配 MPI 探針台的整合架構，將高頻差動晶圓量測轉化為穩定、高效、低複雜度的測試流程，此解決方案滿足半導體製程研發、通訊、國防及太空應用對高頻高精度的嚴苛需求。
MPI Corporation 為全球半導體與光電測試解決方案領導廠商，專精於先進探針系統、探針卡與熱測試技術，涵蓋 RF、光電與功率裝置領域。
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關鍵規格
- 頻率範圍：
10 MHz – 26.5/43.5/50/67 GHz（ZNA26/43/50/67）
→ 延伸至 110 GHz（ZNA67EXT） - 兩埠或四埠版本
- 高射頻性能與穩定度
- 最多四組整合訊號源
- 直覺式觸控操作與 DUT 中心化介面