高頻介電材料特性分析
精準掌握材料特性:從 RF 到 THz 的全方位介電量測解決方案
「高頻介電材料特性分析」測試解決方案是一套專為精準分析材料電氣特性而設計的完整系統,本方案整合了從 mHz 低頻到 THz 毫米波(mmWave)頻段所需的核心儀器、多樣化的量測方法、關鍵的轉換演算法及專用的量測治具,現今,高效能介電材料的應用對於電子、航太國防、汽車科技,乃至醫療製藥與尖端科學研究等領域,其重要性日益增加,因此精準的特性分析扮演著關鍵角色 。
此解決方案的核心在於提供一套非破壞性且相對快速的測試流程 ,讓使用者能深入洞察材料本質,例如:觀察材料因老化、溫度或濕度產生的變化、確保 PCB 材料與 RF 電路的相容性、在品質控制中確認材料的一致性,或是在汽車應用中檢測保險桿對雷達頻率的穿透性 。
方案的基礎儀器涵蓋了適用於低頻段的阻抗分析儀(如 MFIA),以及在高頻 RF 與微波頻段作為量測核心的向量網路分析儀 (VNA)(如 R&S ZNA);透過與毫米波轉換器的結合,VNA 的量測能力更能延伸至 THz 範圍,滿足前瞻應用的需求;VNA 透過量測待測物 (MUT) 的反射與傳輸係數,也就是 S 參數,來取得原始資料,接著,方案內建的轉換方法(如 Nicolson-Ross-Weir 演算法)會將這些 S 參數精確轉換為複數電容率與磁導率等關鍵材料常數,為確保量測結果的準確性與可靠性,一個設計優良的量測治具至關重要 ,因此本方案也整合了 KEYCOM、QWED、SPEAG 與 SWISSto12 等領導廠商的專用治具,以應對從固體、液體到粉末等不同形態樣品的測試挑戰 。
核心量測儀器
根據不同的頻率範圍與應用需求,選擇對應的核心分析儀器是整個測試方案的基礎。
阻抗分析儀 (mHz 至 MHz):
- 適用於低頻範圍,例如 Zurich Instruments 的 MFIA 阻抗分析儀。
- 運作原理:儀器輸出一組 AC 電壓訊號,並量測返回的電流訊號及樣品兩端的電壓降,藉此計算出包含相位資訊的複數阻抗 。

向量網路分析儀 (VNA) (MHz 至 THz):
- 適用於 RF、微波及毫米波頻段,是高頻材料分析的核心,代表型號包括 R&S®ZNA、R&S®ZNB 等 。
- 運作原理:透過量測散射參數 (S 參數),即待測物 (MUT) 對入射波的反射 (S11) 與傳輸 (S21) 係數,來分析材料特性 。
- 高頻擴展:可搭配 R&S®ZCxxx 毫米波轉換器,將量測頻率擴展至 THz 範圍 。
不同技術解決方案應用於低、中、高頻材料特性分析
左側:阻抗分析儀透過量測電壓與電流來計算阻抗 Z 。
右側:向量網路分析儀透過量測 S 參數來進行分析,並可搭配升頻器擴展至 THz 頻段 。
量測方法選擇
根據待測物的損耗特性、型態、尺寸及目標頻率,選擇最合適的量測方法。

|
量測方法 |
適用損耗 |
主要應用頻段 |
優點 |
缺點 |
|
導波傳輸/反射法 |
中至高損耗 |
RF/微波 |
可同時量測電容率與磁導率 ;技術成熟 。 |
易受氣隙與樣品位移影響 ;樣品長度需避開半波長的整數倍 。 |
|
自由空間法 |
中等損耗 |
高頻/毫米波 |
非破壞性量測 ;適用於惡劣環境或大型樣品 。 |
需大型平坦樣品 ;易受多重反射與邊緣效應干擾 。 |
|
開放式同軸探棒法 |
高損耗 |
寬頻 (RF/微波) |
樣品準備簡單,無需加工 ;量測速度快,適合液體與半固體 。 |
僅能量測反射 ;對氣隙敏感,準確度相對有限 。 |
|
共振腔法 |
極低損耗 |
特定共振頻率 (窄頻) |
準確度極高,最適合量測低損耗材料 ;可量測微小樣品或薄層 。 |
窄頻技術,僅在共振點量測 ;需要高頻率解析度的 VNA 。 |
|
平行板法 |
低損耗 |
低頻 (LF) |
使用簡便,成本適中 ;可接受液體樣品或置於環境艙中操作 。 |
僅適用於幾毫米內的薄樣品 ;高頻時受雜散電感與電容影響。 |
|
波紋波導法 |
中等損耗 |
毫米波/THz (25 GHz - 1.1 THz) |
類高斯光束,減少繞射效應 ;校準簡單,重複性高 。 |
需要非常特定的設置 ;對極低損耗材料的分析能力有限 。 |
量測配置圖說

使用同軸線進行導波傳輸/反射法量測

使用天線與待測物進行自由空間法量測

使用波紋波導進行高頻材料特性分析

使用開放式同軸探棒量測液體樣品

使用共振腔量測待測物

使用平行板法與阻抗分析儀進行量測
資料轉換與分析
從 VNA 量測到的 S 參數需透過特定演算法轉換,才能提取出材料的複數電容率 (ϵ) 與磁導率 (μ)。
- Nicolson-Ross-Weir (NRW) 演算法:
一種經典的轉換方法,但對樣品長度有限制,且不適用於低損耗材料 。 - 迭代演算法:
可同時求解電容率與磁導率,不需精確的樣品放置資訊 。 - 新型非迭代法:
一種快速且穩定的方法,適用於任意樣品長度且不需初始值猜測 。 - 短路傳輸線 (SCL) 法:
一種單埠反射量測方法,僅適用於電容率計算 。
整合式量測治具
為確保量測的準確性與可重複性,搭配專為不同方法與應用設計的精密治具至關重要,本方案整合多家領導廠商的治具,提供一站式選擇。
KEYCOM 解決方案
- DPS03 開放式共振器:
用於高頻 (20 GHz - 330 GHz)、超薄膜與低損耗材料的高準確度量測 。 - DPS10 自由空間系統:
適用於厚樣品,可消除氣隙誤差 。 - PER01 磁性量測系統:
專用於量測材料的複數磁導率,頻率範圍涵蓋 100 kHz 至 30 GHz 。

KEYCOM DPS03 開放式共振器治具

KEYCOM DPS10 自由空間量測設置
QWED 解決方案
- 分裂柱介電共振器 (SPDR):
基於共振法,為 PCB 層壓板等介電片材提供極高準確度的 Dk 與 Df 量測 。 - 法布里-珀羅開放式共振器 (FPOR):
提供寬頻 (5 GHz - 170 GHz) 的自動化、高準確度量測,並可分析平面內非等向性 。

QWED SPDR 量測設置

QWED FPOR 搭配 R&S ZNA 與升頻器的量測設置
SPEAG 解決方案
- 介電評估套件 (DAK) 產品線:採用開放式同軸探棒法,提供從 4 MHz 到 67 GHz 的寬頻高精度量測 。
- DAK-R 分裂圓柱共振器:符合 IPC 測試方法,可在單一儀器中提供 10 GHz 至 45 GHz 的多個共振頻率點量測 。

SPEAG DAK-R 量測設置

SPEAG DAK-TL2 材料測試套件與 DAK 儀器
SWISSto12 解決方案
- 材料特性分析套件 (MCK):採用波紋喇叭天線的緊湊型治具,結合了自由空間與波導法的優點 。頻率可從 25 GHz 延伸至 1.1 THz ,測試流程快速且可重複性高 。

SWISSto12 MCK 治具系列
測試解決方案選擇
根據待測物的具體特性,選擇最佳的方法組合是成功的關鍵,下表提供一個快速參考指南。
材料與建議的量測及轉換方法
|
材料特性 |
量測方法 |
轉換方法 |
速度 |
準確度 |
|
高損耗固體/短/非磁性 |
傳輸/反射 (TR) |
NRW |
快 |
中 |
|
低損耗固體/長/非磁性 |
傳輸/反射 (TR) |
NIST 迭代法 / 新型非迭代法 |
慢/快 |
好 |
|
生物樣品/半固體 |
開放式同軸探棒法 |
RFM |
快 |
好 |
|
液體 |
開放式同軸探棒法 |
RFM / 參考液體 |
快 |
好/中 |
|
高溫/大型/平坦固體 |
自由空間法 |
NIST 迭代法 / NRW |
慢-快 |
好 |
|
低損耗/小型固體 |
共振法 |
頻率與 Q 因子 |
慢 |
好 |
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掌握最具挑戰性的量測任務
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主要特點
- 頻率範圍:
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10 MHz 至 110 GHz (R&S®ZNA67EXT) - 提供雙埠或四埠型號
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主要特點
- 可與 R&S®ZNA、R&S®ZVA 或 R&S®ZVT20 搭配使用
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- 可變輸出功率
- 自動化參數設定與簡易操作
- 高量測穩定性